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一個(gè)潔凈室是被設計用來(lái)保護特殊消費產(chǎn)品，如微電子，醫藥，食品，或航天設備免受顆粒污染物一個(gè)封閉的生產(chǎn)空間。復雜的或大規模的生產(chǎn)可能需要相當大的，zui先進(jìn)的潔凈室，而在其他情況下，模塊化設計可能就足夠了。所有潔凈室的共同點(diǎn)是，房間本身處于正壓狀態(tài)，并且空氣被過(guò)濾。
潔凈室中的空氣不斷進(jìn)行處理，以擦洗受保護環(huán)境中的微小顆粒。這是通過(guò)迫使空氣沿層流或湍流方向通過(guò)HEPA或ULPA過(guò)濾器，直到達到zui大允許的顆粒尺寸和潔凈室的ISO（G際標準化組織）標準分類(lèi)計數來(lái)實(shí)現的。從ISO 3級開(kāi)始，潔凈室等級越低，其清潔度就必須越高，因此需要的換氣率就越高。
在ISO 14644標準系列的一個(gè)全面的指導意見(jiàn)“的設備，設施和潔凈室操作方法和相關(guān)受控環(huán)境的標準化。” ISO，食品藥品管理局（FDA）當前的良好生產(chǎn)流程（CGMP）和歐盟的良好生產(chǎn)規范指南（GMP）的其他標準包括對生產(chǎn)過(guò)程中必須排除微生物的工藝和藥品的要求。
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分類(lèi) |
相當于FED STD 209E |
zui大濃度極限（顆粒/ m 3） |
|||||
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≥0.1微米 |
≥0.2微米 |
≥0.3微米 |
≥0.5微米 |
≥1微米 |
≥5微米 |
||
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ISO 1 |
不適用 |
10 |
2 |
0 |
0 |
0 |
0 |
|
ISO 2 |
不適用 |
100 |
24 |
10 |
4 |
0 |
0 |
|
ISO 3 |
1類(lèi) |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
0 |
|
ISO 4 |
10級 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
0 |
|
ISO 5 |
100級 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
|
ISO 6 |
1,000級 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
|
ISO 7 |
10,000級 |
不適用 |
不適用 |
不適用 |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
|
ISO 8 |
100,000級 |
不適用 |
不適用 |
不適用 |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
|
ISO 9 |
標準間 |
不適用 |
不適用 |
不適用 |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
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測試參數 |
班級 |
zui大時(shí)間間隔 |
測試程序 |
|
顆粒計數測試 |
<= ISO 5 |
6個(gè)月 |
ISO 14644-1附錄A |
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顆粒計數測試 |
> ISO 5 |
12個(gè)月 |
ISO 14644-1附錄A |
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氣壓差 |
所有課程 |
12個(gè)月 |
ISO 14644-1附件B5 |
|
空氣流動(dòng) |
所有課程 |
12個(gè)月 |
ISO 14644-1附件B4 |
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測試參數 |
班級 |
zui大時(shí)間間隔 |
測試程序 |
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安裝的過(guò)濾器泄漏 |
所有課程 |
24個(gè)月 |
ISO 14644-3附件B6 |
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密閉泄漏 |
所有課程 |
24個(gè)月 |
ISO 14644-3附件B4 |
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恢復 |
所有課程 |
24個(gè)月 |
ISO 14644-3附件B13 |
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氣流可視化 |
所有課程 |
24個(gè)月 |
ISO 14644-3附件B7 |
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空氣分類(lèi)清潔區域分類(lèi)（0.5 um顆粒/ ft 3） |
ISO指定 |
> 0.5μm顆粒/ m 3 |
微生物主動(dòng)空氣作用水平（cfu / m 3） |
微生物沉降板作用水平（直徑90毫米； cfu / 4小時(shí)） |
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100 |
5 |
3,520 |
1個(gè) |
1個(gè) |
|
1,000 |
6 |
35,200 |
7 |
3 |
|
10,000 |
7 |
352,000 |
10 |
5 |
|
100,000 |
8 |
3,520,000 |
100 |
50 |
|
允許的zui大顆粒數/ m 3大于列表的大小 |
||||
|
在休息 |
運作中 |
|||
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年級 |
0.5微米 |
5.0微米 |
0.5微米 |
5.0微米 |
|
一種 |
3,520 |
20 |
3,520 |
20 |
|
乙 |
3,520 |
29 |
352,000 |
2,900 |
|
C |
352,000 |
2,900 |
3,520,000 |
29,000 |
|
d |
3,520,000 |
29,000 |
沒(méi)有定義的 |
沒(méi)有定義的 |
確保將人，設備和工具中的污垢和灰塵排除在潔凈室之外是確保室內空氣盡可能純凈的另一個(gè)方面。從潔凈室地板和墻壁上的油漆和面板到記錄數據的鉛筆，潔凈室的各個(gè)方面都經(jīng)過(guò)專(zhuān)門(mén)設計，以防止雜質(zhì)從易受影響的制成品中清除。
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