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| 潔凈度等級ISO等級 | 氣流流型 | 平均風(fēng)速（m/s） | 單位面積送風(fēng)量（m3/m2.h） | 應用實(shí)例 |
| 2 | 單向流流型 | 0.3-0.5 | / | 光刻，半導體工藝區 |
| 3 | 單向流流型 | 0.3-0.5 | / | 工作區，半導體工藝區 |
| 4 | 單向流流型 | 0.3-0.5 | / |
工作區，多層掩膜工藝、密盤(pán)制造半導體服務(wù)區、動(dòng)力區 |
| 5 | 單向流流型 | 0.2-0.5 | / | |
|
6 |
非單向流流型 | 0.1-0.3 | / |
動(dòng)力區、多層工藝、半導體服務(wù)區 |
| 單向流流型或非單向 | / | 70-160 | ||
|
7 |
非單向流流型 | / | 30-70 |
服務(wù)區 |
| 單向流流型或非單向 | / | |||
|
8 |
非單向流流型 | / | 10-20 |
表面處理 |
| 單向流流型或非單向 | / |
圖一 微電子潔凈室實(shí)例-人員凈化程序
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