隨著(zhù)現代工業(yè)的崛起，越來(lái)越多環(huán)境都開(kāi)始要求無(wú)塵(Clean)無(wú)菌(意思：沒(méi)有活菌)，做為無(wú)塵無(wú)菌空間的**典型代表-超凈工作(gōng zuò)臺的的舞臺也就越來(lái)越大了。
凈化工作臺用途：廣泛適用于醫藥衛生、生物制藥、食品、醫學(xué)科學(xué)實(shí)驗、光學(xué)、電子、無(wú)菌室實(shí)驗、無(wú)菌微生物檢驗、植物組培接種等需要局部潔凈無(wú)菌工作環(huán)境的科研和生產(chǎn)部門(mén)。也可連接成裝配生產(chǎn)線(xiàn)具有低噪聲、可移動(dòng)性等優(yōu)點(diǎn)。
空氣(Basin air)凈化的產(chǎn)生：空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾(filter)的生產(chǎn)環(huán)境shou先被航空航天工業(yè)使用(use)。即使一個(gè)極其微小的缺陷都可造成衛星工作失誤，因此，美G航空航天中心和其服務(wù)商們建造了帶有過(guò)濾天花板夾層和過(guò)濾墻體的車(chē)間。而且shou創(chuàng )了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員(personnel)潔凈服到潔凈室使用物的管理(guǎn lǐ)方法。
半導體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)(technology)。然而一個(gè)主要的問(wèn)題是當從小加工車(chē)間擴建為有更多工人工作的大型車(chē)間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法(method)演化為
超凈工作臺。這個(gè)主要是把空氣過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺上，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)。在
超凈工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。
在大型車(chē)間中按順序排列的
超凈工作臺組成加工區，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中。
凈化工作臺的原理：潔凈環(huán)境是在特定的空間內，潔凈空氣(進(jìn)濾空氣)按設定的方向流動(dòng)而形成的。以氣流方向來(lái)分，現有的超凈工作臺可分為垂直式，由內向外式以及側向式。超凈工作臺的過(guò)濾器是一種高效顆粒搜集過(guò)濾器（高效過(guò)濾網(wǎng)（Filter mesh））。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維(fiber)組成，由于高密度（單位:g/cm3或kg/m3)的小孔與大面積的過(guò)濾層，使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免(avoid)產(chǎn)生空氣流(airflow)，有利于工作臺的潔凈度，并且對于操作控制員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。高效過(guò)濾網(wǎng)可達到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法(method)中。
一般來(lái)說(shuō)，HEPA高效（指效能高的）過(guò)濾(filter)網(wǎng)裝于超凈工作臺頂部。超凈工作臺是為了適應現代化工業(yè)、光電產(chǎn)業(yè)、生物制藥以及科研試驗等*域對局部工作區域潔凈度的需求而設計的?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA高效過(guò)濾網(wǎng)(Filter)，并以均勻平行的方式方法流出，在工作臺表面改變方向(direction)，流出工作臺。安裝(installation)檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱(chēng)為空氣層流立式式（VLF）超凈工作臺，它是由空氣流的方向命名的。
有些超凈工作(gōng zuò)臺則把HEPA高效（指效能高的）過(guò)濾(filter)網(wǎng)裝于工作臺后部，這種方式被稱(chēng)為空氣(Basin air)層流平行（HLF）式超凈工作臺。
不管是哪種類(lèi)型的超凈工作臺，都離不開(kāi)使用(use)HEPA高效過(guò)濾(filter)網(wǎng)，可以毫不夸張地說(shuō)：沒(méi)有了高效過(guò)濾網(wǎng)（Filter mesh），超凈工作臺也就達不到其凈化要求。
