潔凈室是一種特別潔凈的環(huán)境,例如科學(xué)研究或醫療技術(shù)、光學(xué)或半導體制造領(lǐng)域中敏感產(chǎn)品的制造所必需的。潔凈室是通過(guò)每房間體積的外來(lái)顆粒污染來(lái)衡量的。根據粒子的數量有幾個(gè)級別。
因此,在這種環(huán)境中使用的機器和器具必須滿(mǎn)足某些特性。為此,根據它們對空氣中顆粒濃度的影響,它們被分為九個(gè)不同的類(lèi)別。這些由 ISO(國際標準化組織)標準化。
分類(lèi)機器的特點(diǎn)是摩擦學(xué)顆粒釋放(磨損)低、靜電性能低和衛生設計。材料的選擇和技術(shù)功能都會(huì )影響釋放的粒子數量和數量。沒(méi)有裂縫或間隙的光滑表面可減少污染源的發(fā)生。
根據 ISO 14644 標準,這些設備根據它們對空氣中顆粒濃度的影響進(jìn)行分類(lèi)。它們分為潔凈室等級 ISO1 至 9 之一。每個(gè)等級描述了每立方米不同的最大顆粒量,其中 1 是可以達到的最佳等級。
純度為 ISO9(最大 293,000 個(gè) ≥ 5.0 μm(微米)的顆粒)至 ISO6(最大 293 ≥ 5.0 μm)的機器廣泛用于食品行業(yè)。半導體和芯片行業(yè)的規定更加嚴格。為了防止靜電干擾和污染,所使用的潔凈室認證設備符合更精細的分類(lèi) ISO5(最大 29 ≥ 5.0 μm)至 ISO1(最大 2 ≥ 0.2 μm)。